超純水是為了研制超純材料（半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡(jiǎn)單得說(shuō)就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水  。這樣的水是一般工藝很難達(dá)到的程度，理論上可以采用二級(jí)反滲透再經(jīng)過(guò)串聯(lián)的混合型換樹(shù)脂柱對(duì)二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹(shù)脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。

在原子光譜、高效液相色譜、超純物質(zhì)分析、痕量物質(zhì)等的某些實(shí)驗(yàn)中，需要用超純水，超純水的制備如下

         （1）加入少量高錳酸鉀的水源，用玻璃蒸餾裝置進(jìn)行二次蒸餾，再以全石英蒸餾器進(jìn)行蒸餾，收集于石英容器中，可得超純水。

       （2）使用強(qiáng)酸型陽(yáng)離子和強(qiáng)堿型陰離子交換樹(shù)脂柱的混合床或串聯(lián)柱。可充分除去水中的陽(yáng)、陰離子，其電阻率達(dá)10 Q·cm的水，俗稱去離子水，再用全石英蒸餾器進(jìn)行蒸餾，收集可得超純水。

超純水可以在以下領(lǐng)域使用 [4]  ：

         （1）電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

       （2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。

       （3）單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。

       （4）高壓變電器的清洗等